近日，TIN调研公司总裁罗伯特·卡斯特拉诺预测，全球半导体设备龙头应用材料公司2019年有可能失去其蝉联多年的龙头宝座，让位给光刻机大厂荷兰阿斯麦（ASML）公司。应用材料自从1992年超过日本东电电子成为全球最大半导体设备制造商后，就一直占据这个位置。ASML则由于开发极紫外光刻机（EUV）的成功，成为7nm及以下半导体制造过程中不可或缺的设备，受到市场追捧。两家设备大厂到底孰强孰弱？ASML真能如罗伯特·卡斯特拉诺预测般超过应用材料登顶半导体设备市场？

　　应用材料与ASML哪个第一？

　　罗伯特·卡斯特拉诺表示，过去三年之中，ASML可谓出尽风头，EUV光刻机被几大芯片制造巨头争抢。根据其统计，2018年ASML在全球半导体设备市场份额为18%，2019年上升到21.6%。而半导体设备传统霸主应用材料，在2018年的市场份额为19.2％，今年小幅增长到了19.4％。因此，如果这一预测和统计成真，ASML将超过应用材料，登上全球半导体设备供应商第一名的宝座。罗伯特·卡斯特拉诺还预测2020年的市场。基于2020年半导体制造商计划的资本支出情况，ASML市场份额将提高到22.8%，应用材料将保持19.3%的份额。这意味着ASML还将蝉联龙头宝座至明年。

　　就这一预测，半导体专家莫大康认为，应用材料是产品线最全的半导体设备供应商，应用材料善于并购，通过一系列并购，加强着自身的实力。这也使得其产品线变得很宽，涵盖了半导体制造的数十种设备，包括物理气相沉积设备（PVD）、化学气相沉积设备（CVD）、平坦设备（CMP）、原子层沉积设备（ALD）、离子注入机、刻蚀机、快速热处理设备（RTP），以及晶圆检测设备等。除PVD和CMP占据全球最大市场份额外，其他设备并非最强，却也拥有不弱的实力。应用材料凭借相对全面的产品线，长期稳坐在半导体设备第一供应商的位置。不过2019年半导体偏于下滑，这也使得应用材料业绩不甚理想。2019财年，应用材料实现营收146.10亿美元，净利润27亿美元，同比减少了11%。

　　相对而言，ASML一直专注于光刻机的开发。据Gartner统计，2018年，该公司在全球光刻机市场中的份额达到76%。特别ASML是唯一一家能够提供EUV光刻机的设备厂商，而7nm及更先进制程工艺对该种设备的依赖度非常高，英特尔、台积电和三星三家芯片制造巨头均需要采购ASML的EUV设备。未来EUV的使用范围还将从先进逻辑工艺，逐渐扩展到存储器方面。这样其使用量还将大大增加。

　　因此，莫大康认为，以这样的发展态势来看，ASML超过应用材料，在2020年成为半导体设备厂商首位的可能性是很大的。然而，就此认为ASML强于应用材料又是不准确的。“应用材料和ASML，一个全面均衡，一个专注优势。在当前的时间节点下，似乎有利于ASML的优势发挥。但是，应用材料也有其优势的地方。”莫大康说。

　　一代设备一代工艺，中国如何做强？

　　无论今年设备龙头宝座会否变化，却可以看出设备厂商与半导体互动越来越紧密，作用越来越突出。正如应用材料中国公司首席技术官赵甘鸣在此前接受记者采访时指出，随着摩尔定律的放缓，半导体产业正面临全新的技术变革，需要最底层的材料工程技术的发展，提供强有力的支撑。

　　半导体行业素有一代设备，一代工艺，一代器件的说法。从上世纪80年代末期开始，半导体设备企业便致力于工艺的开发，将工艺能力整合到设备中，也就是设备厂在做制造厂的工作，让制造厂买到设备就能保证使用，并且达到工艺要求。从这个意义上看，说设备的发展决定了器件和工艺的进步并不为过。可也正因为这种情况的出现，对于中国半导体设备企业的发展来说也就提出了更高的要求。

　　对此，莫大康指出，一台设备从研发、样机开始，必须经过大量硅片通过等工艺试验，才能发现问题，并进行改型。这样的过程要重复多次，改型多次，才能最后定型。并且出厂前要经过马拉松试验，测算平均无故障时间等。这对实力尚弱的国产设备厂商来说，将是一个巨大的挑战。

　　近年来为了扶持设备业发展，国家出台政策给予支持。虽然我国半导体设备的市场需求量非常大，但是国内设备业发展仍然是一个短板。SEMI的统计数据显示，2018年全球半导体制造设备销售总额达645亿美元。中国大陆半导体设备市场首度以131.1美元超越中国台湾地区，居全球第二，但半导体设备厂商营收全球占比仍处于个位数级别。

　　盛美半导体董事长、首席执行官王晖指出，半导体设备制造是一个门槛很高的行业，不仅技术高度密集，厂商需要掌握严密的IP，而且产品售出之后还有大量后续服务需要做好。如果售价被压得过低，势必会大幅压低设备企业的利润空间。短期内用户企业虽然可能获利，但是势必会影响到后续服务的进行。而且设备行业高度竞争，企业必须保证对每一代技术的持续跟进，保持技术的领先性。这就需要持续进行投入，而过低的获利，将导致企业无力跟进技术的进步。

　　王晖认为，对于国产设备业者来说，最佳的解决之道就是做产品的差异化技术开发，而不是仅凭低价格来争取订单。“面对同一个应用，同一个技术挑战，你要比大公司做得好，就要寻求差异化的解决方法，否则就很难超过大公司。”在王晖看来，从技术创新的角度，小公司未必会输给大公司，反而因为其灵活性及高效率，而更容易做出突破性的技术。以点带面，从点上取得突破，方是国产设备企业长期持续的成长之道。

　　莫大康则指出，设备厂一定要有全球化的视野，不可能只盯着中国市场。要想全球化，产品设备的性能指标要面向国际一流水准。中微的设备之所以能打入台积电生产线，正是因为其国际化的眼光和市场化的手段。

来源：中国电子报